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API XD激光干涉儀工件測量方法信息
點擊次數：206 更新時間：2025-07-03
直線度測量—API XD的方法應用的PSD技術 (光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號) 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀) 對直線度進行1:1的測量可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速
垂直度測量—API XD的方法 API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯
偏擺角/俯仰角測量—API XD的方法的PSD技術來測量小角度: 當入射光經分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD 光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試不受滾動角的影響，調整光路容易、精確
